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1-1
共查到
“
多栅鳍式
”
相关记录1条 . 查询时间(0.116 秒)
中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种
多栅鳍式
场效应晶体管电离总剂量效应的仿真分析方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
多栅鳍式
场效应晶体管
电离总剂量效应
仿真分析
2023/12/14
本发明涉及一种
多栅鳍式
场效应晶体管电离总剂量效应的仿真方法,该方法利用TCAD仿真软件,依据器件实际的工艺和结构特性,建立三维仿真结构;通过调用基本物理模型,计算器件基本工作特性;将基本特性仿真结果与试验结果对比,修正仿真中的工艺参数和物理模型中的经验参数,使仿真结果最大程度与试验结果拟合;再增加电离总剂量辐射效应模型,并设置模型和材料参数,计算器件的总剂量辐射损伤特性;将器件辐射损伤特性仿真结果...
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