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Nd及其与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜的结构与发光特性 ZnO薄膜掺杂射频磁控溅射结构光致发光 2009/10/29

采用射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上制备了未掺杂ZnO薄膜和Nd及其与Fe,Mn共掺杂ZnO薄膜.通过XRD分析表明，未掺杂ZnO薄膜沿c轴择优生长，掺杂ZnO薄膜偏离了正常生长，薄膜为纳米多晶结构.应用AFM观测所有薄膜的表面形貌，掺杂使ZnO薄膜表面粗糙.室温光致发光谱显示，薄膜出现了395?nm的强紫光和495?nm的弱绿光带.Nd掺杂ZnO薄膜的PL谱线峰值强度减弱，Nd与Fe...