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会议中心 工学 measuring
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半导体测量 设备技术 半导体
2023/4/21
本报告结合个人在半导体量测设备技术行业的工作经历,简要介绍半导体领域的技术,主要包括芯片制造工艺流程,光学量测技术OCD,器件几何建模,光学仿真算法RCWA和明暗场检测设备图像处理集群。
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