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污染与气体检测微系统研究
气体检测 污染
2008/10/29
硅基材料的微加工技术是MEMS技术的基础。基于本课题的关键在于制作性能优良、适宜于环境气体NO2检测的微分析芯片，我们分别在芯片制作工艺和NO2气体的荧光检测方法方面进行了探索。本成果完成了可用于微模塑的硅基阳模的刻蚀。解决了KOH溶液刻蚀单晶硅时存在的平整性和凸角补偿等关键工艺问题。并进一步以刻蚀的硅基为阳模，采用模塑法制备了光透过性能优于普遍使用的PDMS的新型聚合物材料—PMVS为基体的...