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利用直流磁控溅射技术,用于太阳能集热管生产中镀制渐变铝/氮铝选择性吸收涂层的关键设备。通过变换靶材、夹具还可在各种基本表面制备纯金属膜、合金膜及多种金属化合膜。该项目属科技部2000年度国家重点新产品。

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