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低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能电子束反应蒸镀单晶ZnO薄膜玻璃衬底 2007/10/26

文章摘要：采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿c--轴高度取向的单晶ZnO薄膜. 研究了衬底温度及反应气氛中的O2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(PL)和荧光激发光谱(PLE)研究了玻璃上ZnO薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的X射线衍射峰强度最大且线宽最窄(0.28º).反应气氛中的O2对ZnO薄膜...