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1-1
共查到
“
物理学 MHz频段
”
相关记录1条 . 查询时间(0.098 秒)
利用片上光学微腔实现空气耦合的
MHz频段
高灵敏度超声波探测(图)
片上光学微腔
空气耦合
MHz频段
高灵敏度
超声波探测
2023/1/5
高灵敏度、小型化的超声探测器在诸多方面发挥着重要应用,例如医学诊断、光声成像、无损检测等。目前,商用的超声波探测器主要采用压电换能器,但为了实现较高的灵敏度,往往需要较大的尺寸,其传感器的典型尺寸一般为毫米到厘米。近些年来,随着微纳光电技术的发展,在硅芯片上微加工制备得到的光学超声波探测器可同时实现较高的灵敏度和空间分辨率。其中,微腔光力系统由于其高灵敏度、宽带宽、低功耗和易于集成等优越特性,从而...
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