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CdTe太阳电池背接触层的XPS研究
CdTe太阳电池 光电子能谱 ZnTe/ZnTe∶Cu多晶薄膜
2009/10/26
采用共蒸发法在不同条件下制备了ZnTe和ZnTe∶Cu多晶薄膜，通过XRD和XPS研究了它们的结构和各元素的浓度分布。结果表明，不同衬底温度下沉积的薄膜，结构无明显变化，利用XPS溅射剖析获得了薄膜中各成分浓度随溅射时间变化的分布图，发现不同条件下制备的薄膜，溅射速率不同，各成分随溅射时间的变化也不相同。薄膜中Cu的浓度随溅射时间增加而快速增加，并达到一极大值，然后快速下降。根据Cu浓度的变化研究...