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中国科学院金属研究所专利：一种硬质薄膜残余应力测试仪
中国科学院金属研究所 专利 硬质薄膜 残余应力 测试仪
2023/12/25
本实用新型涉及硬质薄膜残余应力测量技术,具体地说是一种硬质薄膜残余 应力测试仪,解决精确测量硬质薄膜的残余应力等问题,该测试仪包括激光器、 半透镜、光感器,激光器的入射激光束与半透镜倾斜设置,半透镜的另一侧设置 有拱形试片。试片因单面薄膜应力产生弯曲,通过测定试片曲率半径可以计算相 应的薄膜应力。采用He-Ne激光器产生入射光束,依次经由半透镜的透射及试片 表面的反射到达光感器(四象限硅光电池接收...
用弧离子增强反应磁控溅射方法, 在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积出具有较高Al, Si含量的TiAlSiN多元硬质薄膜, 研究了不同温度退火后薄膜的微观结构和硬度变化. 结果表明: 由于沉积速率较高和沉积温度较低, 沉积态的TiAlSiN薄膜主要形成非晶结构; 高温退火后, TiAlSiN薄膜由非晶转变为纳米晶/非晶复合结构; 1000℃以下退火后产生的晶体为AlN及TiN; 1100℃以上退...