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基于频分复用的多路微电容检测技术微电容检测频分复用检测灵敏度零位稳定性静电悬浮 2014/5/5

为使静电悬浮微电机的环形转子稳定悬浮在定子电极腔体的几何中心，需要采用差动电容式传感器检测转子沿五个自由度的运动，然后通过静电悬浮控制系统实现有源静电支承。根据频分复用原理，设计了一套可检测悬浮式转子五个自由度运动的微电容检测电路。采用多路高频正弦信号作为载波加载至与各自由度对应的控制/检测电极上，通过公共电极输出反映转子沿各自由度位移变化的调幅信号，然后经过交流放大、相敏解调、低通滤波后得到各自...