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期刊信息 篇名 室温低压下脉冲等离子体生长立方氮化硼薄膜 语种 中文 撰写或编译 撰写 作者 闫鹏勋,杨思泽 第一作者单位 中国科学院物理研究所 刊物名称 金属学报 页面 1995,31,439 出版日期 1995年 4月 日 文章标识(ISSN) 相关项目 高能量密度等离子体法制备立方氮化硼薄膜
期刊信息 篇名 立方氮化硼薄膜的脉冲等离子体室温生长 语种 中文 撰写或编译 撰写 作者 闫鹏勋,杨思泽 第一作者单位 中国科学院物理研究所 刊物名称 科学通报 页面 1995,40,5 出版日期 1995年 8月 日 文章标识(ISSN) 相关项目 高能量密度等离子体法制备立方氮化硼薄膜

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