激光清洗是一项绿色、精密的新型清洗技术,其主要机理为物体表面污染物吸收瞬时(ns)高能(102kW)激光后,污染物气化挥发及瞬间受热膨胀而克服机体表面对污染物粒子的吸附力,使其脱离物体表面。
超快激光具有超短的脉宽,能够在极短的时间尺度内与材料作用,而不产生烧蚀,属于“冷加工”,有着热影响区域小,精度高等优点。然而,在一些行业的应用,如消费电子行业,计算机行业,通讯行业,芯片行业,加工时激光器输出单脉冲能量远远高于所需的能量,若是用单光束加工方式,激光器输出能量大部分被浪费,加工效率低,用多光束并行加工可以有效解决上述问题。