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纳米多孔氮化铌薄膜红外宽带光响应特性
纳米多孔NbN薄膜 红外宽带光响应 Bruggeman等效模型 器件结构设计
2022/3/31
具有超导绝缘相变特性的纳米多孔超导薄膜在红外光电探测领域有着潜在的应用价值，而其在红外波段的宽带光响应特性研究目前尚未见报道。为此，本文以纳米多孔氮化铌（NbN）薄膜为主要对象，研究了其在780—5000nm的近、中红外波长范围内的光响应特性。首先，采用Drude模型拟合的方法，不仅将对实验数据拟合的精度提高了约17%，而且得到了中红外波段的NbN光学参数；进而，采用时域有限差分法分析了加载纳米多...