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1-1
共查到
“
激光物理 光学元件
”
相关记录1条 . 查询时间(0.115 秒)
光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射
光学元件
激光刻蚀
微纳加工
二元衍射光学元件
能量密度阈值
2014/3/19
为了降低激光直接辐照透明介电材料的表面加工粗糙度和激光能量密度刻蚀阈值,提高微
光学元件
的产出率,介绍了一种用固体介质作吸收层,激光直接作用在透明
光学
材料上进行微纳加工的激光诱导背面干法刻蚀工艺。首先,选用95氧化铝陶瓷作固体材料辅助吸收层,应用中心波长为1 064 nm的掺镱光纤激光器,在3.2 mm厚的熔融石英玻璃表面刻蚀了亚微米尺度的二维周期性光栅结构。然后,对刻蚀参数进行拟合并探讨了激光能量...
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