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中国科学院化学研究所专利:一种亚硝酸和硝酸浓度在线测量系统
中国科学院化学研究所 专利 亚硝酸 硝酸 浓度 在线测量系统
2023/5/19
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
傅里叶变换红外光谱仪 红外反射谱 动态随机存储器
2009/10/22
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟...
软X射线绝对光强测量系统及其标定
软X射线绝对光强测量 电离室 标定
2009/6/12
详细介绍了软X射线绝对光强测量系统的设计和结构及其标定的情况和结果,测量系统包括电离室、监测(或待标定)探测器及其传动系统两部分,可作为50—2000eV软X射线绝对强度测量的一级标准探测器. 并给出了系统的偏差.
智能化惰性气体同位素测量系统
intelligent noble gas mass spectrometer melting system purification system labVIEW
2009/4/7
智能化惰性气体同位素测量系统。