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中国科学院大连化学物理研究所利用深紫外激光PEEM/LEEM表征晶圆六方氮化硼结构的研究取得新进展（图）
中国科学院大连化学物理研究所 深紫外激光 PEEM/LEEM 表征晶圆 六方氮化硼
2020/3/17
近日，催化基础国家重点实验室傅强研究员团队与台积电（TSMC）Lain-Jong Li团队、台湾交通大学Wen-Hao Chang团队、美国莱斯大学B. I. Yakobson团队、北京大学张艳峰教授团队合作，在2英寸晶圆衬底上成功外延生长单晶六方氮化硼（hBN）单层薄膜。六方氮化硼是一类重要的二维半导体层状材料，如何在晶圆上实现单晶六方氮化硼薄膜的可控生长是六方氮化硼未来应用于集成电路中的关键挑...