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URE-2000/35新型紫外光刻机研制成功
URE-2000/35 紫外光刻机 新型
2009/12/18
近日，中科院光电所成功研发出URE-2000/35自动型光刻机。该产品集新颖性、可靠性、实用性为一体。采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙，采用19英寸大屏幕液晶显示，对准过程方便直观。整机具有性能可靠、外观精美、操作方便、自动化程度高等特点。通过技术创新，既满足了用户的要求，又提...